这种方法主要从接触电阻的角度来对电池表面状况进行分析的，电池在光照下，在栅线与硅表面形成不同电势，用金属触点在电池表面逐行接触式的扫描，采集电势分布数据，通过分析数据得出电池表面状况图， 从而获得电池缺陷的信息，这种方法，可以直观地显现电池表面接触电阻的分布情况，对分析烧结以及等离子刻蚀等工艺有一定的指导意义。

其缺点是：属于接触式检测，需要破坏减反射膜，对样品破坏性较强；属于扫描式检测，耗时较长，每片需要6分钟左右。接触电阻扫描方法也不适合于组件的快速检测。

接触电阻扫描法灵敏度高，但耗时长、有破坏性，仅适用于电池片。

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